粒子沉积测试

   粒子沉积测试在国外某些高级别洁净室颇受重视。因为通过此项测试，可以让用户了解可能沉积到洁净工作表面或产品上的空气中的悬浮粒子的数量与粒子粒径，这对于分析产品的成品率有较高的参考价值。但因此项测试所用的仪器和技术相对复杂，目前国内较少由洁净室或洁净设施供应商、承包商来进行此项测试，而往往由对此关注的用户自行检测。

   其检测的方式是用表面特性与生产中所关注的表面相类似的测量采样板，在洁净室内收集沉积粒子。再用光学显微镜、电子显微镜或表面扫描仪确定沉积粒子的粒径与数量；也可以用粒子沉降光度计获得粒子沉积率的数据。最后以每单位表面面积在单位时间内的粒子质量或数目来表示沉积粒子的数据。

测量采样板上沉积粒子的获取方法

   根据ISO14644的规定，测试中测量采样板应放置在与存在工艺污染风险表面的同一平面上，要维持测试采样板的电势与所关注的测试表面相同，以排除因静电势不同而引起粒子沉积的差异，影响到测试结果的可靠性。

  具体操作遵循以下程序和方法：

  1）验证洁净室各相关系统都在按要求正常运行。

  2）按要求清洁测量采样板，将其表面粒子浓度减少到最低水平。并在测试前测定各个标注有明显标识的测量采样板上的粒子的背景浓度。

  3）留下20%的测量采样板作对比用。所留下的这些采样板与现场采样的测量采样板的处理方式完全相同。

  4）将测量采样板放置到洁净室规定的位置上。在运送到测试位置的过程中要防止空气中悬浮粒子污染测试采样板表面。

  5)在洁净室内规定位置上暴露采样板，以在测量采样板上得到足够的粒子沉积量，足以获得从统计学角度的有效数据为原则。暴露时间以洁净室类型、运行方式和所使用的粒子计数仪器而定。

  6）而用作比对的20%测量采样板，则应存放在密闭容器中防止被污染。

测量采样板材料与测试仪器

1、测量采样板材料

   依据所要检测的粒径以及测量的仪器与方法不同，可选以下材料：微孔薄膜过滤器；双面胶带；培养皿；带有对比色（一般为黑色）的聚酯培养皿；照相胶片（薄片）；显微镜胶片（白片或带气化金属膜涂层的）；玻璃或金属镜片；半导体晶片坯料；玻璃光掩膜基片。

   测量板的表面光滑度与待计数的粒子粒径相适应，保证易于看到粒子，所采用的测量手段与方法能分辨并测量出沉积在采样板上的最小粒径。

2、测量仪器

   根据要求测量的沉积粒子粒径范围的不同，可分别采用以下几种仪器，选择仪器时还要考虑收集、分析样品要求的时间等因素。

   粒径≧2μm时，可采用光学显微镜；粒径≧0.1μm时，采用表面分析扫描仪；粒径≧0.02μm时，可采用电子显微镜。

测试报告

  除去测试报告常规的各项内容以外还应报告：

  1）仪器操作者或数据收集设施的名称；

  2）测量仪器的名称或数据处理设施的名称；

  3）测试和测量类型、测量条件；

  4）测量点的位置；

  5）测量采样时洁净室和洁净设施所处的状态。