领先的晶圆设备，微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的最主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染 。传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。

污染物	来源	引发问题	解决方案
粉尘	空气	造成集成电路断路、短路，影响成品率	化学过滤模块+普通、高效过滤器/FFU
NH3，NMP	外气	“T-top“现象	化学过滤模块